商号 トキワ真空機材株式会社
本社 神奈川県大和市深見西1丁目4−11号
TEL 046−260−9001
FAX 046−261−1108
創業 昭和39年3月
法人成立 昭和47年11月20日
資本金 10,000,000円(授権資本金4000万円)
決算期 8月31日(年一回)
営業内容 1.中古真空装置、中古半導体装置及び関連機器の 改造、修理 設計、販売
2.上記装置のレンタル業務
3.各種抵抗体、及び蒸発材料の販売
4.希少金属材料の販売及び回収
5.上記製品の輸出及び輸入
6.上記に附帯する一切の業務
施設等 事業所 本社・工場建坪 140m²
中古真空機器工場建坪 150m²
3t走行クレーン
取扱製品 1.半導体関連装置
CVD装置、エピタキシャル装置、酸化装置、アニール装置、レジストスピナー、
ドライスピナー、ドライエッチング装置、洗浄装置、乾燥装置、ダイシング装置
光学及び、電子顕微鏡
2.真空関連装置
真空蒸着装置、EB蒸着装置、スパッター装置、イオンプレーティング装置、
クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ドライポンプ、拡散ポンプ、
メカニカルブースターポンプ及び排気装置
3.成膜代行業務
光学多層膜、高機能薄膜、超伝導薄膜
4.アライナーメンテナンス、修理業
5.貸しラボ


※電車でお越しの方は大和駅(北口改札を出てください)より御連絡頂ければお迎えに参ります(046-260-9001)。